近日,潤石科技宣布完成數(shù)千萬元A輪融資,本輪投資方為字節(jié)跳動。據(jù)悉,本輪融資資金將主要用于產(chǎn)品技術研發(fā)和市場銷售開拓等方面。
潤石科技曾參加2020金雞湖創(chuàng)業(yè)大賽,在比賽中獲得評委的一致認可和好評,取得了二等獎的好成績,大賽也對潤石科技創(chuàng)始人李安東進行采訪。
潤石科技致力于幫助泛半導體行業(yè)廠商加速度過產(chǎn)能與良率爬升期,基于工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)與AI技術,為企業(yè)提供包括設備健康管理系統(tǒng)(PHM)、工業(yè)流程機器人系統(tǒng)(RPA)、智能缺陷分類檢測系統(tǒng)(ADC)、智能機臺失效分類系統(tǒng)(FDC)等在內(nèi)的完整解決方案。目前公司已經(jīng)在晶圓加工、封測、面板、PCB/FPC等泛半導體領域落地應用。
公司產(chǎn)品架構(gòu)方面,在半導體機臺用IoT邊緣設備作為最基礎的數(shù)據(jù)采集傳輸層,中間層是大數(shù)據(jù)分析平臺,而RPA工業(yè)流程機器人、FDC智能機臺失效分類系統(tǒng)及ADC智能缺陷分類檢測系統(tǒng)等可以理解是最上層工藝制程控制的AI應用。
致力于由機器智能實現(xiàn)最佳生產(chǎn)工藝流程,
幫助企業(yè)加速產(chǎn)能爬坡
從行業(yè)整體來看,近年來國內(nèi)半導體行業(yè)產(chǎn)能擴張勢頭迅猛,同時日本、韓國及中國臺灣地區(qū)的泛半導體產(chǎn)能也在繼續(xù)向中國大陸地區(qū)遷移。雖然新建設產(chǎn)線數(shù)量眾多,但是通常無法迅速形成新產(chǎn)能,一方面是因為產(chǎn)線的良率和產(chǎn)能往往需要24個月-36個月的爬升才能達到量產(chǎn)要求,另一方面,新產(chǎn)線的產(chǎn)能良率爬升需要經(jīng)驗豐富的工藝工程師,但是目前資深工藝工程師供給嚴重不足,一定程度上也會影響新產(chǎn)線爬坡的速度。
從需求上來看,半導體行業(yè)工藝流程優(yōu)化一直是行業(yè)的剛需,也是各廠商難啃的硬骨頭。潤石科技創(chuàng)始人兼CEO李安東表示,工藝參數(shù)的調(diào)試通常需要工程師依據(jù)實驗設計等手段來手動調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)效果則完全依賴于工程師的經(jīng)驗。而一道工藝的一條產(chǎn)線上可能有數(shù)十個機臺,每個機臺又有若干個反應腔室,不同顆粒度的生產(chǎn)單元可能需要分別調(diào)優(yōu),在顧及一致性和可靠性情形下很難實現(xiàn)全局最優(yōu)。此外,制成品中如果出現(xiàn)缺陷或瑕疵不良,工程師也很難追溯源頭查找問題根因。
因此,泛半導體企業(yè)迫切需要從依靠人工經(jīng)驗提升效益轉(zhuǎn)變?yōu)橐揽繖C器智能來提高產(chǎn)能與效率。
潤石科技通過IoT工藝數(shù)據(jù)采集-預處理-特征提取-多變量建模-訓練迭代等一系列步驟,為企業(yè)建立一個當前工藝參數(shù)最優(yōu)的生產(chǎn)模型。該生產(chǎn)條件將被固化下來作為生產(chǎn)的基準,業(yè)內(nèi)也稱之為Golden Recipe。在此過程中,潤石科技會對企業(yè)產(chǎn)線的各個工序進行分析,幫助企業(yè)找到瓶頸工序,進而有針對性地排除生產(chǎn)瓶頸。
企業(yè)工程師可以依靠潤石科技提供的工程數(shù)據(jù)分析平臺,針對不同設備乃至設備的不同反應腔室分別進行最優(yōu)生產(chǎn)工藝模型的自動下發(fā)和調(diào)整,并可以持續(xù)進行生產(chǎn)工藝參數(shù)的調(diào)優(yōu)。
有別于傳統(tǒng)EDA系統(tǒng)只能事后處理與離線分析,F(xiàn)DC智能失效分類系統(tǒng)可以實現(xiàn)在線監(jiān)控,實時判斷當前工藝狀態(tài)是否有偏離之前設定的最優(yōu)生產(chǎn)條件。與傳統(tǒng)YMS良率分析系統(tǒng)多用統(tǒng)計回歸模型來分析問題不同,F(xiàn)DC加入了AI模型以實現(xiàn)精準分析與預測。
FDC可從人、機、料、法、環(huán)、測各個層面去分析產(chǎn)品的制程差異,依據(jù)當下工藝狀態(tài)向企業(yè)提供潛在良率改善目標,從而實現(xiàn)精細化的制程控制,系統(tǒng)性地提升產(chǎn)線的工藝良率,進而幫助泛半導體廠商縮短良率產(chǎn)能的爬坡期。
從效果上來看,部署潤石產(chǎn)品后,半導體廠商產(chǎn)能良率爬升周期可從36個月縮短至24個月,或從24個月縮短至18個月。潤石還會在產(chǎn)能爬坡結(jié)束后為企業(yè)持續(xù)提供工藝優(yōu)化與精進相關產(chǎn)品與服務。
與AOI相輔相成,
ADC可提高缺陷分類檢測智能化水平
缺陷和瑕疵不良一直是泛半導體企業(yè)質(zhì)檢環(huán)節(jié)的焦點,潤石科技ADC智能缺陷分類檢測系統(tǒng)在對圖像數(shù)據(jù)進行有效前處理和特征取值后,再進行缺陷分類檢測。
與采集大量數(shù)據(jù)后直接進行模型訓練不同,潤石基于自身團隊深刻的行業(yè)理解,首先會基于工藝原理、設備機理等對缺陷的分布樣態(tài)進行地理空間分析,之后再進行模型訓練,這種方式可以在訓練模型方面少走許多彎路,更高效地訓練出高檢出準確率的算法。李安東表示在部署過程中,視覺檢測算法一般會從監(jiān)督式學習逐步發(fā)展到半監(jiān)督式學習,未來走到無監(jiān)督檢測學習。
半導體生產(chǎn)中通常會使用AOI設備進行光學檢測,而潤石科技也與國際頭部AOI檢測設備廠商開展合作。因為AOI設備報告的缺陷點中會有一定比例的誤報,過去是由人工來復判,現(xiàn)在ADC來進行復判,可進一步判定真缺陷點或真瑕疵點的范圍,也將替代這部分人工。再運用潤石的RPA工業(yè)流程機器人將檢測、復判、修補多機之間形成聯(lián)動,實現(xiàn)智能制造。
目前潤石科技針對泛半導體的不同細分行業(yè)都有成熟的缺陷分類檢測解決方案與實施案例,檢出率依據(jù)訓練樣本可趨近100%。
部署RPA以實現(xiàn)更高水平的自動化生產(chǎn)管理
如果說FDC和ADC解決的是智能化生產(chǎn)和工藝提升的問題,那么工廠在執(zhí)行端的自動化問題則交由工業(yè)流程機器人系統(tǒng)RPA來解決。在實際生產(chǎn)過程中,幾乎每一道工序中都需要作業(yè)員對設備進行管理和操作。部署RPA后,使工廠實現(xiàn)無(少)人化,可有效緩解因人才缺口造成的用工荒問題。
例如成膜工藝的PVD或是CVD制程作業(yè)中,潤石科技依據(jù)上位系統(tǒng)提供的Golden Recipe下發(fā)后,通常需要作業(yè)員管控機臺的幾百個物理量參數(shù)。過去一個作業(yè)員只能管理2~3個機臺,人工效率較低,且無法保證長時間的可靠性。部署RPA之后,實現(xiàn)機器自動標準作業(yè),當機臺出現(xiàn)機況時才需要作業(yè)員進入無塵車間進行具體操作,未來一個作業(yè)員最多可以同時管控75個機臺,大幅降低了人機比,提高作業(yè)效率。
反饋控制+追根溯源,
產(chǎn)品線形成完整APC系統(tǒng)
值得強調(diào)的是,半導體廠商良率提升并不是單點式地在產(chǎn)成品質(zhì)檢環(huán)節(jié)加入AI視覺檢測就可以完全解決的,廠商既需要對缺陷等不良類型的檢測,更需要形成對殘次原因追根溯源和精細化工藝參數(shù)反饋控制的能力。因此,潤石科技的ADC會和FDC形成閉環(huán)的聯(lián)動關系,可以幫助企業(yè)快速定位缺陷是在哪一道工序的哪一個機臺發(fā)生的,甚至具體是由于哪個物理量參數(shù)的變化導致的問題,最終可形成Round to Round的APC先進制程控制。
此外,相較于從MES、SCADA等軟件系統(tǒng)自上而下地進行制程控制,其數(shù)據(jù)收集是在秒級,無法接收高頻率的實時數(shù)據(jù)。潤石科技則是從設備工藝控制出發(fā)自下而上地實現(xiàn)制程控制,兩者可以形成互補。
業(yè)務進展
業(yè)務進展上,客戶包括半導體制造、半導體封測、PCB線路板、FPD平面顯示器及被動元器件等各領域頭部企業(yè)。從ROI視角看,潤石科技產(chǎn)品滿足客戶投資回收期在12個月內(nèi)的要求。今年將在提高標桿客戶內(nèi)部產(chǎn)線滲透率的同時,潤石科技將進一步向腰部客戶拓展,預計今年營收規(guī)模將實現(xiàn)翻倍增長。
金雞湖創(chuàng)業(yè)大賽自2012年啟動,目前已成功舉辦9屆,影響力已經(jīng)輻射全球近20個海外城市,足跡遍及北美、歐洲、亞太等地區(qū),累計吸引近萬個海內(nèi)外初創(chuàng)項目參賽,大賽已經(jīng)成為中國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)中不可缺失的一環(huán)。據(jù)不完全統(tǒng)計,入圍大賽總決賽的180家企業(yè)中,已有102家企業(yè)獲得融資,累計所獲融資金額達108億元,42人獲評國家級高層次人才。大賽為世界各國懷揣創(chuàng)業(yè)夢想的創(chuàng)業(yè)者搭建展示夢想的舞臺,幫助創(chuàng)業(yè)者瀝青商業(yè)模式,為企業(yè)成長注入力量。
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